在氣象行業(yè)中,濕度是一個非常重要的指標(biāo)。山林,農(nóng)田,海港氣象站都要對濕度進(jìn)行測量。此外濕度測控在氣象預(yù)報,醫(yī)療衛(wèi)生,食品加工等行業(yè)都有廣泛的應(yīng)用。
濕度傳感器依據(jù)所使用的材料不同,分為電解質(zhì)型,陶瓷型,高分子型和半導(dǎo)體型等濕度傳感器。從性能的總體來看,無論哪一種材料制成的傳感器,都有它各自的特點,既有長處,也有短處,他們分別能滿足某些地方的要求。
電解質(zhì)型:以氯化鋰為例,它在絕緣基板上制作一對電極,涂上氯化鋰鹽膠膜。氯化鋰極易潮解,并產(chǎn)生離子電導(dǎo),隨濕度升高而電阻減小。
陶瓷型:一般以金屬氧化物為原料,通過陶瓷工藝,制成一種多孔陶瓷。利用多孔陶瓷的阻值對空氣中水蒸汽的敏感特性而制成。
高分子型:先在玻璃等絕緣基板上蒸發(fā)梳狀電極,通過浸漬或涂敷,使其在基板上附著一層有機(jī)高分子感濕膜。有機(jī)高分子的材料種類很多,工作原理也各不相同。
單晶半導(dǎo)體型:所用材料主要是硅單晶,利用半導(dǎo)體工藝制成。制成二極管濕敏器件和MOSFET濕度敏感元件等。其特點是易于和半導(dǎo)體電路集成在一起。